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腔體尺寸 | 石英玻璃，直徑150mm*高度130mm | |
供電規格 | AC220V,200W | |
濺射電壓 | MAX 2500V | |
濺射電流 | MAX 30mA | |
靶材尺寸 | 直徑57mm,厚度0.1~0.5mm | |
適用靶材 | 貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金屬Cu、W、Ag、Cr等 | |
樣品臺可調高度 | 20-50mm | |
樣品臺尺寸 | 直徑55mm | |
工作真空度 | 1~20Pa | |
氣體路數 | 單路 | |
補氣流量 | 手動調節 | |
控制 | 觸屏控制 | |
VRD-8 腔體尺寸石英玻璃，直徑150mm*高度130mm供電規格AC220V,200W濺射電壓MAX 2500V濺射電流MAX 30mA靶材尺寸直徑57mm,厚度0.1~0.5mm適用靶材貴金屬Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金屬Cu、W、Ag、Cr等樣品臺可調高度20-50mm樣品臺尺寸直徑55mm工作真空度1~20Pa氣體路數單路補氣流量手動調節控制觸屏控制真空泵VRD-8 |
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